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本发明涉及光学薄膜技术领域，尤其涉及一种超薄反射镜的面形控制方法，包括：S1、将超薄反射镜的中心通过法兰固定在旋转轴上；S2、驱动旋转轴进行高速自转，超薄反射镜在离心力的作用下向四周伸展，直至超薄反射镜展开为平面面形；S3、旋转轴的旋转速度保持不变，根据超薄反射镜的目标面形的曲率半径、圆锥系数和RMS，计算施加在旋转轴上的激励和目标面形的工作时间；S4、沿旋转轴的轴向施加激励，超薄反射镜在目标面形的工作时间内保持面形不变。本发明提出的超薄反射镜的面形控制方法的结构简单，能够将超薄反射镜的面形控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116880036 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202311140735.X
(22)申请日 2023.09.06
(71)申请人 中国科学院长春光
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