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本发明涉及半导体领域，具体是一种晶圆生产装载设备，包括装载箱和密封盖，装载箱的端口两侧边角位置开设固定孔；所述密封盖外表面对称设有把手，密封盖上还固接有负压管；该装载箱和密封盖的配合，使得密封盖与装载箱的开合动作以轻柔的状态进行，橡胶塞插设至固定孔内，橡胶塞自身有弹性，能够自由伸缩变形，能够灵活插设至固定孔，降低零部件之间相对移动时产生的磨损，也就降低磨损碎屑飞扬至晶圆盘上的可能性，同时在打开密封盖时，首先打开负压管的气体阀门，让装载箱内与外界的气压平衡，之后方可将密封盖取下，其动作也是较为轻柔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884894 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202311149896.5
(22)申请日 2023.09.07
(71)申请人 苏州鸿安机械股份有限公司
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