德国SPECK斯贝克真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响.docVIP

德国SPECK斯贝克真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响 我司在德国、美国都有自己的公司，专业从事进口贸易行业，以下是我司的专业人士为大家所做的报告，具体请看下面描述： ? ? 德国SPECK斯贝克真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，SPECK真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按SPECK真空泵的工作原理，SPECK真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。 随着真空应用的发展，SPECK真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种SPECK真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的SPECK真空泵都不可能适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的SPECK真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种SPECK真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 常用SPECK真空泵包括干式螺杆SPECK真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，SPECK真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在SPECK真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国SPECK真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。 （1)泵总体结构型式 真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。 立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。 卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。 泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。 （2)泵的传动方式 真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。 特点 在较宽的压力范围内有较大的抽速； 转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速； 泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染； 泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感； 压缩比较低，对氢气抽气效果差； 转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。 ⑴SPECK真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 ⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择SPECK真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 ⑶SPECK真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 ⑷正确地组合SPECK真空泵。由于SPECK真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的SPECK真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的SPECK真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 ⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措