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本发明公开了一种红外带通滤光片及其制备方法,所述红外带通滤光片包括:依次层叠的基板与多层复合薄膜;所述基板采用硫化镉带通滤光片,所述多层复合薄膜的膜系结构为:1.3H0.3L3.05H0.368L6(0.587H0.666L)0.236H3.177L1.872H3.4L1.633H1.423L6(1.450H1.430L)0.004H0.103L1.414H1.908L0.460H1.094L;其中,H为单晶锗膜层,L为一氧化硅膜层;一氧化硅的透明波段为0.6‑8um,单晶锗的透明波段为1‑14
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116879992 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310794546.8 C23C 14/24 (2006.01)
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