低压纳米结晶装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.14万字
约 15页
2023-10-14 发布于四川
举报
版权申诉

低压纳米结晶装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种低压纳米结晶装置，包括：一腔体、多个进气装置、多个分流板、一抽取装置以及一基板。该进气装置以一气体进入方向提供一气体进入该腔体中。该分流板具有多个开孔，越靠近该进气装置的该分流板中的该开孔面积越小，且二个相邻的该分流板以该气体进入方向映射的该开孔位置不重迭。该基板可承载一待结晶体。当该气体进入该腔体时，经过多个分流板后，使该气体接触该待结晶体时的压力更小也更加均匀，最后该气体被该抽取装置抽离至该外界。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116870520 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202311053693.6 (22)申请日 2023.08.21 (71)申请人台湾钙钛矿科技股份有限公司地址