一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备.pdf

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本发明提供了一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备，方法包括：用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116871269 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310863926.2 (22)申请日 2023.07.13 (71)申请人东莞南玻智能装备制造有限公司地址