CMOS射频集成电路设计-射频集成电路的测试.pptxVIP

射频集成电路的测试;12.1 概 述;　　集成电路的设计制造按照产业链可以分为电路设计、芯片制造、封装和测试四个环 节。不管是在实验室还是在制造工厂,芯片测试是不可缺少的环节。事实上,随着人们对 集成电路产业品质的重视,集成电路测试正在成为集成电路产业中的一个不可或缺的独立 行业。集成电路测试需要一定的外部环境和测试条件以及测试设备,特别是 RFIC的测试 仪器比较昂贵,测试环境要求也较高。本章将分别从洁净间的防静电管理、常用测试设备 简介、RFIC测试步骤与方法三个方面进行详细的介绍。;12.2 洁净间的防静电管理;　　从微观上分析,根据原子物理理论,电中性时物质是处于电平衡状态的。不同物质的 原子间的接触会产生电子得失,进而使物质失去电平衡,于是产生静电效应。 　　从宏观上分析,有如下几个因素将会产生静电: 　　(1)物体间的接触与分离产生电子转移; 　　(2)物体间摩擦生热激发电子转移; 　　(3)电磁感应使物体表面电荷处于不平衡状态; 　　(4)物体间摩擦以及电磁感应共同的效应导致静电等。;　　2. 静电的危害 　　静电的危害主要分为静电放电和静电引力所造成的危害两种。 　　1)静电放电(electro-static-discharge,ESD)的影响 首先,ESD会造成电子设备的故障或误操作,产生电磁干扰;其次,ESD 有可能损坏集成电路和电子元件,或者造成元件老化,降低成品率;再次,高压 ESD 会电击人体,造 成人身安全事故;最后,ESD有可能对易燃物起到引燃作用而造成火灾等事故。;　　2)静电引力(electrostatic-attraction,ESA)的影响 　　首先,ESA 会吸附尘埃,造成集成电路或半导体元件的污染,使得成品率下降;其次, 对胶片和塑料有尘埃附着作用,影响其性能;最后,对其他行业或产品有一定影响,例如 纺织品及造纸业等。;　　3. 静电防范 　　人体静电防护系统主要由防静电手腕带、脚腕带、脚跟带、工作服、鞋袜、帽、手套或 指套等组成,具有静电泄放、中和与屏蔽等功能。通过以下措施可有效防范静电造成的 危害:　　(1)从人做起,凡是进入静电保护区域的工作者必须接地,以防止任何静电的累积, 并通过接地保持人体本身及穿戴物表面处于同一电位,避免 ESD发生。 　　(2)采用防静电腕带,并使其正确接地。 　　(3)防止来自内部和外表运输中的 ESD。　　(4)使测试仪器具有共同接地电位。;　　4. 芯片测试时的防静电措施 　　进行芯片测试时的防静电措施有:　　(1)测试平台采用标准的接地线。接地电阻必须符合行业标准。 　　(2)测试人员使用接地腕带和防静电鞋。 　　(3)仪器车和产品车、工作台采用防静电垫。 　　(4)工作地面采取防静电措施。 　　(5)对包装材料进行防静电处理等。;12.3 常用测试设备简介;;　　在芯片测试探针台的主要技术指标为:　　 (1)X－Y 轴位移为8寸; 　　(2)分辨率为0.1μm; 　　(3)重复精度性为±2μm; 　　(4)速度大于50mm(2in.)/s; 　　(5)载片台镀金或镀镍可选; 　　(6)超低损耗微波 ACP探头小于0.25dB; (7)有标准阻抗接触基片。;12.3.2 其他测试仪器 　　1. 射频信号源 　　以 AgilentN5182A 信号源(见图12-2)为例。;　　主要技术指标: 　　(1)频率范围为250kHz至3GHz或6GHz(可设置到100GHz); (2)最大输出功率为+13dBm@ 千兆赫兹; 　　(3)W CDMA 的动态范围≤-73dBc(输出功率+5dBm); 　　(4)在列表模式下,同时频率、幅度和波形切换速度不大于900μs。 　　主要用途:用做信号源。 　　功能特色:具有快速频率、幅度和波形切换能力,业界领先的 ACRR 性能,高可靠性 以及易于自我维护的特性。;　　2. 射频示波器 　　以 Agilent90604A 示波器(见图12-3)为例。 主要技术指标: 　　(1)出色的示波器信号完整性,具有6GHz带宽,能提供非常高的实时测量精度,业 界最低的本底噪声(即100mV/格时为 1.92mV); 　　(2)具有超过30种适用于一致性测试、调试和分析的应用软件。 　　主要用途:获得最精确的波形和数据测量结果。 　　功能特色:为测试现代高速串行信号提供了无与伦比的实时测量精度和更 高 带 宽 (16GHz、20GHz或 30GHz),以及高达8.5Gb/s的数据速率。;;　　3. 矢量网络分析仪 　　以 AgilentN5230A 矢量网络分析仪(见图12-4)为例。 　　主要技术指标:　　(1)用