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本实用新型涉及一种扫描电镜样品台系统，包括：真空室；样品台，设置在真空室内；横向移动机构，设置在真空室内，包括横向支架、连接横向支架的横向超声波电机、连接横向超声波电机的横向丝杆、设置在横向丝杆上的移动板，移动板滑设在横向支架上，样品台设置在移动板上；纵向移动机构，设置在真空室内，包括纵向支架、连接纵向支架的纵向超声波电机、以及连接纵向超声波电机的纵向丝杆，横向支架设置在纵向丝杆上，且横向支架滑设在纵向丝杆上。上述扫描电镜样品台系统，由于横向超声波电机及纵向超声波电机不额外产生附加磁场，从而不会
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210668269 U
(45)授权公告日
2020.06.02
(21)申请号 20192
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