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SBA-15 本文档共60页;当前第29页;编辑于星期三\12点35分 本文档共60页;当前第30页;编辑于星期三\12点35分 c d a b Pt/HBeta的TEM图 本文档共60页;当前第31页;编辑于星期三\12点35分 纳米棒 纳米管 本文档共60页;当前第32页;编辑于星期三\12点35分 扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscopy SEM获得试样放大成象的过程不同于光学显微镜和TEM SEM成象过程是:首先镜体内聚焦扫描入射电子束,从试样激发各种信号,进检测,放大后,最终在位于镜体外的显象管荧光屏上形成一副反映试样表面形貌、组成及其他物化性能的扫描图像。 本文档共60页;当前第33页;编辑于星期三\12点35分 电子与物质的相互作用 本文档共60页;当前第34页;编辑于星期三\12点35分 高能电子束轰击样品表面时有复杂的作用过程,产生各种有用的信息,主要有: 二次电子:从距表面100埃左右深度范围内激发出来的低能电子. 用于扫描电镜 背散射电子:从距表面0.1-1μm深度范围内散射回来的入射电子,能量近似入射电子能量。 透射电子:穿过样品的入射电子, 用于透射电镜的成像和衍射,能量近似入射电子能量 非弹性散射电子, 电子在
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