《单晶炉能源消耗规范》（征求意见稿）.pdf

ICS31-550 L 01 SJ 备案号： 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 /XXXXX—202X 单晶炉能源消耗规范 Specification for energy consumptionnorm ofsilicon singlecrystalgrower （征求意见稿） 在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。 202X - XX - XX发布 202X - XX - XX实施 中华人民共和 国工业和信息化部 发 布 SJ/T XXXXX-202X 引 言 随着单晶炉的工艺设计不断进步，单晶炉炉型尺寸不