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微电子技术基础 全册习题解答 第1 章习题解答 1．微电子学主要以半导体材料的研究为基础，以实现电路和系统的集成为目的，构建 各类复杂的微小化的芯片，其涵盖范围非常广泛，包括各类集成电路（Integrated Circuit ，IC ）、 微型传感器、光电器件及特殊的分离器件等。 2 ．数字集成电路、模拟集成电路、数模混合集成电路。 3 ．设计、制造、封装、测试。 4 ．微机电系统是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通 信系统及电源于一体的系统。典型应用包括微加速度计、微磁力计、微陀螺仪等。 第2 章习题解答 1．（100）平面：4.83Å，（110）平面：6.83Å 2 ．略。 3 ．略。 22 3 23 3 4 ．硅的原子密度约为5×10 /cm ，硅外层有四个价电子，故价电子密度为2×10 /cm 5 ．N 型掺杂杂质：