《电子工业洁净车间运行维护技术规程》.pdfVIP

T/GACT XXXX—2023 电子工业洁净车间运行维护技术规程 1 范围 本规程规定了电子工业洁净车间运行维护的术语和定义、一般要求、洁净车间的环境控制要求、洁 净车间公用设备的运行与维护、自动控制及能源管理等其他要求。 本规范适用于电子工业洁净车间的运行维护。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T25915.1/ISO 14644-1洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T25915.2/ISO 14644-2洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 GB/T 36370 洁净室及相关受控环境空气过滤器应用指南 GB 50591 洁净室施工及验收规范 GB 50073 洁净厂房设计规范 GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范 GB 50050 工业循环冷却水处理设计规范 GB 50365