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一种梯度结构氧化铪基铁电薄膜、铁电电容器及制备方法.pdfVIP

一种梯度结构氧化铪基铁电薄膜、铁电电容器及制备方法.pdf

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    本发明公开了一种梯度结构氧化铪基铁电薄膜、铁电电容器及制备方法，梯度结构氧化铪基铁电薄膜的结构从下至上依次包括：第一铁电层、第二铁电层、第三铁电层和第四铁电层，且第一铁电层和第四铁电层的组成相同，均为HfxZr(1‑x)O2，第二铁电层和第三铁电层的组成相同，均为Hf(1‑x)ZrxO2，其中0

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116895646 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310744856.9 (22)申请日 2023.06.21 (71)申请人 西安电子科技大学 地址 7100

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