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本发明提供了一种晶圆搬运机器人吸盘手指和晶圆加工设备，一种晶圆搬运机器人吸盘手指包括：本体，机械手本体设有固定端和吸取端；吸取件，吸取件设有气孔，吸取件设于机械手本体；气道，气道设于机械手本体的内部；支撑部，支撑部设于机械手本体，支撑部围绕气孔设置；其中，支撑部设有支撑开口，支撑开口与气道相互连通。机械手本体的固定端固定在晶圆加工设备上，机械手本体的吸取端设置吸取件，吸取晶圆，在吸取件的底部设有支撑部，支撑部围绕气孔设置，同时支撑部设有支撑开口，在吸取件发生弹性形变时，支撑吸取件，同时支撑开口使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116895596 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202311159489.2
(22)申请日 2023.09.11
(71)申请人 宁波润华全芯微电子设备有限公司
地
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