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- 2023-10-18 发布于四川
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本实用新型提供了一种等离子增强型化学气相沉积的接地线结构，包括有真空侧接地线，真空侧接地线的一端与下电极连接，在工艺腔上开设有安装孔，安装孔安装有接地线本体，且接地线本体与工艺腔绝缘连接，真空侧接地线的另一端与接地线本体连接，接地线本体连接有大气侧接地线，大气侧接地线一侧与工艺腔连接，大气侧接地线上连接有可变电阻，接地线本体还连接有检测机构，检测机构连接有控制模块，控制模块根据检测结果控制可变电阻的大小，改变大气侧接地线的通断。本实用新型能够及时的监控真空侧接地线的断裂数量和断裂位置，在局部真空
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219839763 U
(45)授权公告日 2023.10.17
(21)申请号 202320379422.9
(22)申请日 2023.03.03
(73)专利权人 福建华佳彩有限公司
地址 35
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