压电元件以及压电元件应用器件.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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压电元件以及压电元件应用器件.pdf

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本发明提供一种能够对裂纹的产生进行抑制的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板，其包含硅；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被形成在压电体层上，在基板与压电体层之间配置有包含绝缘材料的第一扩散抑制层，压电体层在第一区域、第二区域以及第三区域上被连续地形成，其中，所述第一区域为第一电极的表面，所述第二区域为第一扩散抑制层的表面，所述第三区域为基板的表面，第三区域被配置在第一区域与第二区域之间。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116896969 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310303947.9 (22)申请日 2023.03.27 (30)优先权数据 2022-057916 202