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本发明公开了一种晶圆肥边去除装置，包括：工作平台，其表面定位有晶圆；推移装置，初始位置位于该工作平台一侧的一清洗区，该推移装置包括有抵持板，于该抵持板一侧设有连接于预设动力装置的推杆，该抵持板另一侧凹设有抵持弧边，该预设动力装置驱动该推杆，使该抵持板移动至该工作平台，而将该抵持弧边抵靠于该晶圆一侧；涂刀，设于该抵持板上方，并朝向该晶圆远离该抵持板一侧移动，直到该涂布液覆盖于该抵持板的部分区域及该晶圆表面后停止，该推移装置自该晶圆处退回该清洗区，利用预设溶剂进行该涂布液的清除并进行干燥作业，该晶圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116895552 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310159295.6 B05D 5/06 (2006.01)
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