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本发明提供加工装置，其即使在加工中产生异常，也在不使加工效率降低的情况下对被加工物进行再次加工。该加工装置具有：卡盘工作台，其在保持面上对具有相互交叉的多条间隔道的被加工物进行保持；加工单元，其沿着该间隔道对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工；以及控制单元，该控制单元在通过该加工单元从该间隔道的一端到另一端对该被加工物进行加工的期间残留有未加工区域而中断了加工的情况下，使该卡盘工作台旋转180度，通过该加工单元从该间隔道的该另一端对该被加工物的该未加工区域进行加工。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116895558 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310300648.X
(22)申请日 2023.03.24
(30)优先权数据
2022-063225 202
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