一种晶棒底部擦拭装置.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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一种晶棒底部擦拭装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶棒底部擦拭装置，包括镂空槽，其设置在所述工作台中心处，所述工作台的内部设置有滑腔，两个所述镂空槽的内部均设置有横板，所述镂空槽的下方设置有安装架，所述安装架的内部设置有升降板，所述升降板的上方设置有海绵块，所述海绵块的下方设置有电机；梁板，其设置在所述工作台的上方，所述梁板上设置有通孔，所述通孔的内部设置有夹块；支撑座，其设置在所述工作台的上方，所述梁板的两侧均设置有支撑架，该擦拭装置将多根晶棒夹持固定，并使得晶棒底部处于同一水平面上，将海绵块与晶棒底部接触，借助电机带动海

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219836852 U (45)授权公告日 2023.10.17 (21)申请号 202321213697.1 (22)申请日 2023.05.19 (73)专利权人无锡中环应用材料有限公司地址