中继环碳化钽镀膜设备和方法.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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中继环碳化钽镀膜设备和方法.pdf

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本发明的实施例提供了一种中继环碳化钽镀膜设备和方法，涉及长晶设备制造技术领域。设备包括镀膜坩埚、蒸发源坩埚和石墨加热器，镀膜坩埚包括石墨桶和坩埚盖，坩埚盖盖设在石墨桶上，坩埚盖上开设有多个安装通孔，一个安装通孔内用于放置一个待镀膜的中继环；蒸发源坩埚设置在石墨桶内、且放置在底部，蒸发源坩埚用于盛装钽颗粒；石墨加热器设置在镀膜坩埚的外围，石墨加热器用于对镀膜坩埚以及蒸发源坩埚内的钽颗粒进行加热，使钽颗粒蒸发成气体、并附着到中继环的表面、与中继环上的碳发生反应形成碳化钽薄膜。该设备和方法能够提高镀膜

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116891998 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202311160747.9 (22)申请日 2023.09.11 (71)申请人通威微电子有限公