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本发明提供不产生新的金属的污染，能够从聚硅烷化合物高效率地除去金属的聚硅烷化合物的精制方法。此外，提供从通过现有方法除去了金属成分的聚硅烷化合物，可以进一步显著地减少金属成分的含量的聚硅烷化合物的精制方法。进一步，提供显著减少了金属成分的含量的高纯度的聚硅烷化合物。解决手段是一种聚硅烷化合物的精制法，其至少具有下述工序：准备工序，将包含金属杂质的聚硅烷化合物用至少1种具有酰胺基骨架的化合物进行稀释；以及金属除去工序，通过对被稀释了的聚硅烷化合物进行金属除去处理，将该金属杂质除去到体系外。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116891572 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310302956.6
(22)申请日 2023.03.27
(30)优先权数据
2022-053884 202
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