GaN基发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管.pdfVIP

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  • 2023-10-21 发布于四川
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GaN基发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管.pdf

本发明公开了一种GaN基发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管,涉及半导体光电器件领域。GaN基发光二极管外延片包括衬底和依次生长于所述衬底上的缓冲层、U‑GaN层、N‑GaN层、第一插入层、多量子阱层、电子阻挡层和P‑GaN层;其中,所述第一插入层包括依次生长于所述N‑GaN层上的第一AlN层、第一WS2层和第一InAlGaN层。实施本发明,可提升发光二极管的发光效率、抗静电能力和波长均匀性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116914042 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310864978.1 H01L 33/26 (2010.01)

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