一种用于电子级三氟化氯制备的自动增压系统.pdfVIP

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2023-10-21 发布于四川
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一种用于电子级三氟化氯制备的自动增压系统.pdf

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本发明属于气体增压技术领域，公开了一种用于电子级三氟化氯制备的自动增压系统，包括依次连接的气化增压模块和多级增压模块；气化增压模块包括壳体以及与壳体连通的进料管路，壳体的内部还设置有加热装置；多级增压模块包括驱动装置和围绕驱动装置设置的环形的增压管路，增压管路上接设有至少两个增压装置，驱动装置与增压装置传动连接。通过多级增压模块对三氟化氯气体进行多级活塞增压，通过环形增压管路的结构设计减小了增压系统的整体占地面积，通过多级增压可以确保三氟化氯高压气体的稳定输出，提高了增压系统的增压效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116906293 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202311021572.3 (22)申请日 2023.08.14 (71)申请人福建德尔科技股份