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2023-10-21 发布于四川
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本申请涉及微机电领域，具体涉及一种谐振器以及温度补偿方法。谐振器至少包括两个谐振单元和第一连接部，每个谐振单元包括中心振动部、环形振动部和第二连接部，中心振动部设于环形振动部的环内，且在中心振动部的径向上与环形振动部间隔设置，中心振动部的外周壁和环形振动部的内环壁之间通过第二连接部连接，第一连接部分别连接两个谐振单元的环形振动部的外环壁，通过多个包括中心振动部、环形振动部能够产生多个振动模态，多个振动模态能够形成多个谐振频率组合，增加了模态组合的数量，从而能够在温度补偿时提高温度补偿的灵敏度，增

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116915205 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310645666.1 (22)申请日 2023.06.01 (71)申请人麦斯塔微电子（深圳）有限公司地址

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