粗磨晶棒中心偏移值的测量方法及精磨磨削的方法.pdfVIP

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2023-10-21 发布于四川
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粗磨晶棒中心偏移值的测量方法及精磨磨削的方法.pdf

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本发明公开了一种粗磨晶棒中心偏移值的测量方法及精磨磨削的方法，所述测量方法包括以下步骤：1)通过一侧磨头上的探针测量粗磨晶棒的第一面部和小台面的中心M之间的垂直距离b；2)将粗磨晶棒旋转180°，并用所述探针测量粗磨晶棒的第三面部和小台面的中心M之间的垂直距离a；3)设定小台面的中心M的水平坐标为(0,0)，则计算得出所述粗磨晶棒的中心N的水平坐标为(a‑b,a‑b)，从而得到粗磨晶棒的中心N与小台面的中心M之间的偏移值。以用于下一步精磨。本发明的方法可以减少因粗磨磨偏后导致的未精磨、分刀次数多

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116900938 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202311032064.5 (22)申请日 2023.08.16 (71)申请人双良硅材料（包头）有限公司地址