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一种基于路易斯酸浓度实现PdSe2的p型掺杂定量方法及应用.pdfVIP

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  • 2023-10-21 发布于四川
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一种基于路易斯酸浓度实现PdSe2的p型掺杂定量方法及应用.pdf

    本发明涉及一种基于路易斯酸浓度实现PdSe2的p型掺杂定量方法，包括：在衬底上沉积一层Pd薄膜，然后在Ar/H2气氛下，在管式炉中对Pd薄膜进行后硒化处理形成PdSe2，即得沉积有PdSe2的衬底；配制不同浓度的SnCl4‑乙醇溶液，之后将沉积有PdSe2的衬底分别浸泡在不同SnCl4‑乙醇溶液中，浸泡后取出备用；将样品分别制成晶体管PdSe2，之后测试各晶体管PdSe2的阈值电压；将测得的阈值电压与SnCl4掺杂浓度之间进行线性拟合，得到阈值电压偏移与掺杂浓度的相关方程，利用相关方程反推即实现

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116913762 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310899535.6 (22)申请日 2023.07.21

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