一种一体式氩气冷却管.pdfVIP

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2023-10-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种一体式氩气冷却管，包括可拆卸拼接的氩气管和冷却管，冷却管的外侧设有安装槽，氩气管的形状与安装槽相匹配，且氩气管装入安装槽后，氩气管和冷却管拼合形成一体式柱状结构；冷却管内部设有连通的进液腔和出液腔，且进液腔靠近氩气管并为氩气管降温。本实用新型的氩气管与冷却管为可拼接的结构，氩气管与冷却管拼接在一起后，形成一体式的柱状结构，如此一来，在镀膜腔室内仅有一根圆柱管，减少镀膜腔室内裸露的管道数量，从而极大地减少了镀膜过程中会被沉积金属的管面积，降低了清洁难度；且本实用新型的氩气管可贴合

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219861546 U (45)授权公告日 2023.10.20 (21)申请号 202321330776.0 (22)申请日 2023.05.29 (73)专利权人重庆金美新材料科技有限公司地址