原创力文档- 2
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- 2023-10-22 发布于四川
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本实用新型提供一种微波等离子体化学气相沉积设备反应腔结构，属于微波等离子体化学气相沉积技术领域。本实用新型包括上盖板、基座及由两者围成的反应腔，基座上设置用于将反应腔内部抽真空的抽气口，还包括冷却基片台和石英玻璃环，冷却基片台插入设置在基座中间，石英玻璃环设置在冷却基片台与基座之间，石英玻璃环内部中空，基座下方向下延伸有延伸部，延伸部内部设置环形汇流腔，石英玻璃环内部空腔以及反应腔分别通过第二气管和第一气管连通汇流腔，抽气口也连通汇流腔，本实用新型提高了密封效果，延长了石英玻璃环和密封垫圈的使用
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219861573 U
(45)授权公告日 2023.10.20
(21)申请号 202321093071.1
(22)申请日 2023.05.08
(73)专利权人 上海固玺科技有限责任公司
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