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一种生产板承载装置.pdfVIP

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  • 2023-10-22 发布于四川
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一种生产板承载装置.pdf

    本实用新型公开了一种生产板承载装置，包括承载盘，所述承载盘的中心区域为用于吸附生产板的吸附区域，所述吸附区域的四周为干式接触区域，所述干式接触区域内设置有至少一个密封腔，所述密封腔内包含有一端与所述生产板接触按压、另一端与外部电气系统连接的接触机构。本实用新型实施例通过在承载盘的吸附区域四周设置干式接触区域，以达到对生产板干式接触夹持的效果，同时通过密封腔内的接触机构对生产板进行接触按压并传导电流，从而提高生产板夹持效果，满足实际生产需求。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219861656 U (45)授权公告日 2023.10.20 (21)申请号 202321129000.2 (22)申请日 2023.05.11 (73)专利权人 鑫巨 （深圳）半导体科技有限公司

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