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课程报告 题目：扫描电子显微镜原理及发展综述 姓名： 学院： 专业： 学号： 课程老师： 提交时间： 扫描电子显微镜原理及发展综述 摘要 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析仪器，可以对各种材料进行多种形式的 表面的观察与分析。它具有分辨率高、景深长、成像富有立体感等优点。利用扫描电镜的 图像研究法分析显微结构，其内容丰富、方法直观。随着现代生活对新型材料的需求不断 增长，扫描电子显微镜技术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。本文主要介绍扫描 电子显微镜的工作原理、结构特点以及发展应用情况，并对当前扫描电镜发展方向进行总 结与评析。 关键字：扫描电子显微镜，工作原理，SEM结构组成，应用，发展方向 扫描电子显微镜原理及发展综述 目录 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 第一章前言 1 \o Current Document 1.1显微镜的分类 1 \o Current Document 1.2扫描电子显微镜的性能及基本分析技术 1 \o Current Document 第二章描电子显微镜原理 3 \o Current Document 2.1电子与物质的相互作用 3 \o Current Document 2.2扫描电子显微镜的工作原理及仪器结构［1］⑵ 3 \o Current Document 2.2.1整体工作原理图 4 2.2.2电子光学系统 4 \o Current Document 2.2.3扫描系统 5 \o Current Document 2.2.4信号收集及图像显示系统 5 \o Current Document 2.2.5真空系统 6 \o Current Document 2.2.6电源系统 6 \o Current Document 2.3扫描电子显微镜的像衬度 6 \o Current Document 2.3.1表面形貌衬度 6 \o Current Document 2.3.2原子序数衬度 7 \o Current Document 2.4扫描电子显微镜的试样制备［1］ 7 \o Current Document 2.4.1块状试样的制备 7 \o Current Document 2.4.2粉末试样的制备 7 2.4.3溶液试样的制备 7 \o Current Document 第三章扫描电子显微镜发展与应用 8 \o Current Document 3.1扫描电子显微镜的发展历史 8 \o Current Document 3.1.1国外扫描电子显微镜发展概况［10］ 8 \o Current Document 3.1.2国内扫描电子显微镜发展概况 9 3.2扫描电子显微镜的最新进展及趋势⑻卬］ 9 \o Current Document 3.2.1扫面电子显微镜发展阶段概述 10 \o Current Document 3.2.2分析型扫描电子显微镜 10 \o Current Document 3.2.3场发射扫描电子显微镜 11 \o Current Document 3.2.4低电压和低真空扫描电子显微镜［12］ 11 \o Current Document 3.2.5 环境扫描电子显微镜［13］ 11 \o Current Document 3.3扫描电子显微镜在材料科学中的应用 12 \o Current Document 第四章扫描电子显微镜发展方向分析 14 参考文献： 15 扫描电子显微镜原理及发展综述 第一章前曰 1.1显微镜的分类 为了了解和研究自然现象，通常开始是用人的肉眼进行观察的。但是，人肉眼的观察 能力是有限的，它能分辨的最小距离只能达到0.2mm左右。为了把人的视力范围扩大到微 观领域，就必须借助于一种观察仪器，把微观形貌放大几十倍到几十万倍，以适应人眼的 分辨能力。我们把这类仪器称为显微镜。 根据照明源的性质、照明方式以及从被观察对象所收回信息的性质和对信息的相应放 大处理方法，通常可以分为光学显微镜、透射电子显微镜、场发射电子显微镜和扫描电子 显微镜等。常用的各种显微镜类型如表1-1所示。 表1-1常用显微镜类型 照明源 照射方式 成像信息 名称 缩写符号 可见光 光束在试样上静 止方式投射 反射光 透射光 干涉光 金相显微镜 生物显微镜 干涉显微镜 OM 电子束 电子束在试样上 以静止方式正投 射 透射电子 透射电子显微 镜 TEM 电子束在试样上 作光栅状扫描 透射电子 反射型电子 透射扫描电镜 表面扫描电镜 SEM 1.2扫描电子显微镜的性能及基本分析技术 关于光学显微镜、扫描电子显微镜和透