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- 2023-10-26 发布于浙江
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《窗口晶体 紫外级氟化钙晶体》
中国科学院上海硅酸盐研究所
工作简况,包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的工作
引子
随着我国经济的不断发展,全社会对标准的需求不断加大,尤其是在新产品、新技术领域。现行的国家标准管理机制仍为30年前建立,标准编制的组织与发布均由政府主管部门承担,标准化工作广泛存在立项难、更新周期长、标准化活动社会参与程度不够等问题,并由此压缩了标准的社会供给。我国的标准工作已不能满足当前市场经济发展的需要,更与全球经济一体化发展大格局下的标准化工作新形势新要求不符,发展团体标准是解决这一难题的有效途径。
国内外发展概况
CaF2 属立方晶系,具有优良的机械强度和抗潮性、恒定的平均折射率和局部折射率、 稳定的物理化学性能。 它的透光范围非常宽(0.13~10 μm), 尤其是在紫外波段透过率超高(≥99.8%@193nm)。 紫外级CaF2 晶体是深紫外准分子激光光刻机透镜的最佳材料,同时是制作红外光学系统中的光学棱镜、透镜和窗口等光学元件的最好材料,也是其它材料无法取代的复消色差透镜理想材料。此外,由于其极低的非线性折射率和吸收系数,作为新型激光增益介质,紫外级CaF2 晶体备受关注并已在系统中获得应用。
国际上,德国的豪玛(Hellma)和肖特(Schott)公司、日本的尼康(Nikon)公司、美国的康宁(Corning)公司等在CaF
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