反射型空间光调制器、光观察装置及光照射装置.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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反射型空间光调制器、光观察装置及光照射装置.pdf

本发明提供一种反射型空间光调制器,其具备:电光结晶,其具有输入光被输入的输入面和与输入面相对的背面;光输入输出部,其配置于电光结晶的输入面,且具有透射输入光的第一电极;光反射部,其包含包括多个第二电极的基板,且配置于电光结晶的背面侧;驱动电路,其对第一电极与多个第二电极之间施加电场,光输入输出部包含形成于输入面上的第一电荷注入抑制层,光反射部包含形成于背面上的第二电荷注入抑制层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111433664 A (43)申请公布日 2020.07.17 (21)申请号 20178

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