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本发明提供涉及能够适当地对应搬运容器的保存量的增大的基板处理装置的技术。基板处理装置具有：具有能够保存多个收容基板的搬运容器的第一架的第一架区域；在供搬运容器载置的载台部的下方具有能够以多层保存搬运容器的第二架的第二架区域；及在设于框体内的载台部、第一架、第二架以及搬运区域之间搬运搬运容器的搬运容器移载机械手，搬运容器移载机械手具有：设于框体的底面上的主体基部；构成为能够相对于主体基部升降的第一台部；配置在主体基部的上方侧位置且成为使第一台部升降的驱动源的第一驱动部；安装于第一台部且构成为能够相
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110047791 A
(43)申请公布日
2019.07.23
(21)申请号 20191
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