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本发明公开了基于拉锥型纳米热电偶的近场热辐射测试方法。本发明方法首先制作纳米热电偶和标定悬浮岛,高真空环境下,纳米热电偶通正弦电流,纳米热电偶尖端接触标定悬浮岛的中心区域,测得纳米热电偶的热阻。然后制作测量悬浮岛,中心区域沉积待测材料或放置待测物,高真空环境下,纳米热电偶尖端逐渐接近测量悬浮岛,接触后上升,每上升一次设定高度,测量一次纳米热电偶尖端温度和测量悬浮岛中心区域温度,得到不同真空间距下的纳米热电偶尖端与测量悬浮岛之间的真空热导。本发明方法相较传统的纳米热电偶,有高灵敏度、高测试精度、易
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116929564 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310648157.4
(22)申请日 2023.06.02
(71)申请人 浙江大学
地址 310030
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