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本发明提供一种提高单晶产出的工艺,包括:开始熔料的0‑0.5h内,使单晶炉的主加热器从0kw逐渐上升至65kw‑75kw的范围内,同时副加热器从0kw逐渐上升至8kw‑12kw的范围内;在熔料的0.5h‑6.5h的时间内,单晶炉的主加热器保持在65kw‑75kw的范围内,同时副加热器保持在8kw‑12kw的范围内;在熔料6.5h‑初始复投的时间内,单晶炉的主加热器的功率提升至95kw‑105kw的范围内;副加热器的功率提升至88kw‑92kw的范围内。本发明的有益效果是延缓了硅原料的熔融速率,坩
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116926658 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202210331427.4
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 内蒙古中环晶体材料有限公司
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