原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及半导体晶片加工技术领域，特别是涉及一种晶片锯纹测量装置，包括透明托盘，透明托盘的第一端的边缘设有第一定位部，第一定位部的侧面为与晶片的定位面匹配定位的限位面；透明托盘的内部或透明托盘的表面平行间隔设有多个刻度线，设各刻度线的延伸方向与限位面之间的夹角均为第一夹角、晶片表面锯纹的延伸方向与定位面之间的夹角为第二夹角，则第一夹角等于第二夹角；将晶片的定位面与限位面贴合后，晶片表面的锯纹与透明托盘上的刻度线平行布置，通过透明托盘上的刻度线即可得知锯纹的高度，不需要通过目视来保证游标卡尺的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219890330 U
(45)授权公告日 2023.10.24
(21)申请号 202320907827.5
(22)申请日 2023.04.20
(73)专利权人 广东先导微电子科技有限公司
地址
文档评论（0）