- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种CO2激光快速烧蚀加工熔石英微透镜阵列的初始微结构的路径规划方法及路径,属于光学加工技术领域。为解决CO2激光烧蚀快速去除材料加工微柱阵列时,加工表面存在烧蚀过度或不足以致粗糙不平,严重影响微透镜阵列质量问题。利用阵列点和阵列线两种加工方式进行加工实验,优选多线扫描,规划路径为交叉轨迹和非交叉S形轨迹,优选非交叉S形轨迹,虽然其效果较好但仍存在加工表面不平整问题,再次优化为非交叉点扫描起点同侧轨迹,扫描相邻两条横纵轨迹的时间间隔相同。本发明揭示了沿不同轨迹进行扫描对加工表面形貌的影
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936003 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310937655.0 G06F 30/23 (2020.01)
文档评论(0)