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一种环形电容及其制备方法、电容阵列及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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一种环形电容及其制备方法、电容阵列及其制备方法.pdf

    本公开提供一种环形电容，其包括介质基板、第一极板、电介质层和第二极板，其中，所述介质基板具有盲槽，所述第一极板、所述电介质层和所述第二极板均位于所述盲槽内，且三者填充所述盲槽；所述第一极板覆盖所述盲槽侧壁，所述电介质层覆盖所述第一极板，所述第二极板覆盖所述电介质层。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116936525 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310878615.3 H01L 23/538 (2006.01)

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