原创力文档- 12
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- 2023-10-25 发布于四川
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在基板处理中的处理条件的探索中，收集适当的数据。一种数据收集系统，具有：具有第1处理空间的第1基板处理装置、具有第2处理空间的第2基板处理装置、和与所述第1基板处理装置及第2基板处理装置连接的数据收集装置，具有：修正量计算部，比较通过在相同的处理条件下在所述第1处理空间和第2处理空间中分别处理相同或类似形状的基板而观测到的观测数据，计算出对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正的修正量；和收集部，在通过在所述第2处理空间中改变处理条件来处理基板从而探索处理条件时，基于所述修正
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116941012 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202280017209.1 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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