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本发明公开了一种具液膜厚度调节装置的干燥腔室及液膜厚度调节方法,具液膜厚度调节装置的干燥腔室包括干燥腔、主动模块、以及装设于干燥腔内的从动模块;主动模块包括电机以及主磁性转子组件,主磁性转子组件与干燥腔的底壁间隙设置;从动模块包括转动装设于干燥腔的底壁上的副磁性转子组件,副磁性转子组件与主磁性转子组件相对设置,副磁性转子组件上远离主磁性转子组件的一端固定连接有锁紧装置,锁紧装置适于锁紧待干燥元件,主动模块包括工作状态和非工作状态,在工作状态,电机驱动主磁性转子组件转动,转动的主磁性转子组件驱动副
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116929018 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311054392.5 F26B 25/18 (2006.01)
(22)申请日 2023.08.
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