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光学系统、安装设备和用于测量测量对象的位置的方法.pdfVIP

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  • 2023-10-25 发布于四川
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光学系统、安装设备和用于测量测量对象的位置的方法.pdf

    一种用于光刻设备(100A、100B)的安装设备(200)的光学系统(208)，包括：相机(210)，用于记录测量对象(202)的至少一部分的图像(218)，背景体(224)，具有荧光涂层(226)并且被配置为从相机(210)看时布置在测量对象(202)的后面，以及照明装置(212)，用于照明荧光涂层(226)并激发其荧光，其中，该相机(210)包括滤光器(240)，用于允许由荧光涂层(226)发射的荧光(234)通过。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116940899 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202280017264.0 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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