- 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
提供一种部件接合装置、部件接合方法及安装结构体。在以高温将部件加热接合于基板时,避免基板的热膨胀的影响而实现部件与基板的高精度的定位。使用如下部件接合装置,其具备:保持部件的部件供给头;以及对基板进行加热并保持的加热工作台,所述加热工作台与所述基板接触的加热区域包含所述基板的供所述部件接合的接合区域,所述基板比所述加热工作台大,所述基板的周边部与所述加热工作台不接触。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109935538 A
(43)申请公布日
2019.06.25
(21)申请号 20181
原创力文档


文档评论(0)