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本发明公开了一种六边形盒状三维探测器及其制备方法，该探测器由数个探测单元排列组成，探测单元的外部呈正六棱柱，探测单元包括硅基底，硅基底上固定有中空的壳形电极，壳形电极内填充有探测基体，探测基体顶部中间镶嵌有中央收集电极，壳形电极和中央收集电极顶部附着有氧化层，探测基体顶部附着有金属层；本发明制备的探测器结电容和信号噪声小，死区比例小，电流信号间不会相互干扰，探测器的位置分辨率和能量分辨率高；探测器内部的电场分布均匀，且粒子能够双面入射，工作效率高，能使用电池驱动，方便携带。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109994454 A
(43)申请公布日
2019.07.09
(21)申请号 20191
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