微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法.pdf

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本发明公开了一种微纳光纤集成的微流控悬臂梁质量传感器和方法。振动结构用于对传感结构产生主动振动进而用于检测质量，传感结构用于容纳待测溶液而被振动结构带动产生被动振动进而检测振动反映质量；传感结构包括悬臂梁、微流控通道和微纳光纤，悬臂梁，一端布置在振动结构的压电陶瓷上面，另一端悬空伸出于振动结构的压电陶瓷，悬臂梁受振动结构带动而振动，微流控通道埋设在悬臂梁中用于容纳待测溶液；微纳光纤布置在悬臂梁上用于检测悬臂梁的振动。本发明能方便快捷地获得悬臂梁本征振动频率的频移数据，从而得到通道内液体质量的微小

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116929512 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310681135.8 (22)申请日 2023.06.09 (71)申请人之江实验室地址 311121