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本发明提供了一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法，所述的智能仓储包括：仓储体，用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒；所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送；所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构；所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内，所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上。通过本智能仓储能够实现对光罩盒在仓储体外的循环存储功能，避免人工对光罩盒的反复搬运，通过取料机构在垂直方向的调节和吸取，增加了对光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116923949 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310686824.8 B65G 49/07 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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