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本发明公开了一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括电气引脚(1)、金属基座(2)、电气引线(3)、声表面波器件(4)、保护薄膜(5)以及气敏薄膜(6)，气敏薄膜(6)包括蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜，蛇形气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器形状相同，块状气敏薄膜与声表面器件(4)中的叉指换能器之间的声传播路径形状相同；蛇形气敏薄膜与块状气敏薄膜采用并联或串联的方式通过电气引线(3)连接电气引脚(1)。本发明能够有效增强气敏薄膜吸附特性，调节并控制器件温度以及表面温
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116930316 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202210338245.X
(22)申请日 2022.04.01
(71)申请人 中国科学院声学研究所
地址 10
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