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本发明涉及精密检测技术领域，特别涉及一种基于双频光栅的工件测算方法、装置及介质。本发明通过低频相移量和对应位移对高频相移量解包覆，将高频光栅测量的相移量分为了解包部分和包裹部分；解包部分对应的高度通过解包结果和高频光栅周期相移量对应的高度计算得出，增加了解包部分的检测精准度；包裹部分通过经训练神经网络模型进行计算，神经网络模型是基于标定数据拟合的周期高频光栅长度与高度的映射关系，尽可能的保证了包裹部分精准度；综上，显著的提高了工件高度的测算精准度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116929225 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310958240.1
(22)申请日 2023.08.01
(71)申请人 上海电机学院
地址 200240
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