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本申请属于光学技术领域，涉及一种光相位调制器件及其制备方法，包括：衬底(10)；第一波导芯(12)，设置在衬底(10)上；第二波导芯(16)，设置在第一波导芯(12)的上方的上包层(17)中，第一波导芯(12)与第二波导芯(16)之间有可变空隙(104)；应力模块，设置在空隙(104)上方的上包层(17)上，通过应力模块发生的形变使得上包层(17)发生形变，通过上包层(17)形变使得第一波导芯(12)和第二波导芯(16)之间的空隙(104)变大或变小。本申请提出的光相位调制器件，在不需要基于特定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931295 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202311012441.9
(22)申请日 2023.08.09
(71)申请人 国科光芯（海宁）科技股份有限公司
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