约瑟夫森结制备方法及生产线设备.pdfVIP

下载本文档

6
0
约2.61万字
约 25页
2023-10-25 发布于四川
举报
版权申诉

约瑟夫森结制备方法及生产线设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请关于一种约瑟夫森结制备方法及生产线设备，涉及微纳加工技术领域。该方法包括：在基底上制备包含底切结构的光刻胶膜层；底切结构包含第一条形开孔、第二条形开孔；以第一角度对光刻胶膜层进行倾斜于基底的蒸镀，以透过第一条形开孔在底切结构的基底上制备第一条形超导层；以第二角度对光刻胶膜层进行倾斜于基底的蒸镀，以透过第二条形开孔在底切结构的基底上制备第二条形超导层；第一条形超导层与第二条形超导层相互交叉；且第一条型超导层与第二条形超导层的相交处以氧化层相隔离，以构成约瑟夫森结。本方案不会带来其它的寄生结，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116940217 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202210324371.X (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人腾讯科技（深圳）有限公司地址