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一种硅行业用金属硬密封耐磨控制阀制造方法.pdf

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本发明公开了一种硅行业用金属硬密封耐磨控制阀制造方法,其特征是先在硬质相粉末表面包覆前驱体层并经过固相烧结气氛还原形成Ti4O7,通过预紧实形成团聚体颗粒,在热喷涂中原位形成Ti3SiC2,在粘结相中引入Mo并在喷涂时氧化形成正交相α‑MoO3,喷涂后球体和阀座经高速预摩擦形成复合自润滑转移膜,装配后制造出硅行业用金属硬密封耐磨控制阀。本发明克服了现有技术的涂层润滑物与基体界面相容性差,物相难以保持和孔隙率大等问题,工作温度范围为‑196~660℃,最大工作压力45MPa,涂层硬度950~160

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116921671 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310663813.8 C23C 4/129 (2016.01)

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